真空泵
真空泵按其工作原理，基本上分为气体输送泵和气体捕集泵两种类型。
气体输送泵包括：1、液环真空泵（水环式真空泵）2、往复式真空泵3、旋片式真空泵4、定片式真空泵5、滑阀式真空泵6、余摆线真空泵7、干式真空泵8、罗茨真空泵9、分子真空泵10、牵引分子泵11、复合式真空泵12、水喷射真空泵13、气体喷射泵14、蒸汽喷射泵15、扩散泵等。
气体捕集泵包括：吸附泵和低温泵等。
目前工业中应用最多的是水环式真空泵和旋片式真空泵等。
W型往复式真空泵（Model Wpiston Vacuum Pump）
是获得粗真空的主要真空设备之一。广泛应用于化工，食品，建材等部门，特别是在真空结晶，干燥，过滤，蒸发等工艺过程中更为适宜。
2X型旋片式真空泵（Model2 Xsliding Vane Rotary VacuumPump）
用来抽除密闭容器的气体的基本设备之一。它可以单独使用，也可作为增压泵、扩散泵、分子泵的前级泵使用。该型泵广泛应用于冶金、机械、电子、化工、石油、医药等行业的真空冶炼、真空镀膜、真空热处理，真空干燥等工艺过程中。
2XZ型旋片式真空泵（Model2 XZSliding VaneRotary Vacuum Pump）
具有结构紧凑，体积小，重量轻，噪音低，振动小等优点。所以，它适用于作扩散泵的前级泵，而且更适用于精密仪器配套和实验室使用。例如：质谱仪器，冰箱流水线，真空冷冻干燥机等。
XD型旋片式真空泵（Model XDSliding VaneRotary Vacuum Pump）
可以在任意入口压强下工作，已普遍应用于食品的真空包装，塑料工业的真空吸塑成形。印刷行业的纸张输送，真空夹具，以及真空吸引等。
SZ、SK系列水环式真空泵（ModelSZWater Ring Vacuum Pump）
主要用于粗真空。抽气量大的工艺过程中。它主要用来抽除空气和其它无腐蚀，不溶于水，含有少量固体颗粒的气体，以便在密闭容器中形成真空。所吸气体中允许混有少量液体。它被广泛应用于机械、制药、食品、石油化工等行业中。
2SK、2SK-P1系列双级水环式真空泵（Model2SK、2SK-P1 Water Ring Vacuum Pump）
主要用来抽除空气和其它有一定腐蚀性、不溶于水、允许含有少量固体颗粒的气体。广泛用于食品、纺织、医药、化工等行业的真空蒸发、浓缩、浸渍、干燥等工艺过程中。该型泵具有真空度高、结构简单，使用方便、工作可靠、维护方便的特点。
JZJS型罗茨——水环泵机组（ModelJZJSRoots-Water Ring Vacuum Pump System）
本机组由于采用水环泵作为前级泵，因而特别适用于抽除含有大量水蒸气和带有一定腐蚀性和可凝性气体的工艺过程中。如：真空蒸馏、蒸发、脱水、结晶、干燥等工艺过程中。
JZJX型罗茨一旋片泵机组（ModelJZJXRoots-Sliding Vane Rotary VacuumPump System）
是以罗茨泵为主泵，以旋片泵为前级泵串联而成。其结构紧凑，操作方便。适用于抽除空气及其它无可凝性及无腐蚀性的气体，广泛应用于需要大抽速和高真空的各种真这系统中。如：真空冶炼，电力电容器，变压器，真空浸渍处理，真空镀膜设备中的预抽等。
Zj系列罗茨真空泵（Model ZJRoots Vacuum Pump）
是一种旋转式变容真空泵须有前级泵配合方可使用在较宽的压力范围内有较大的抽速对被抽除气体中含有灰尘和水蒸汽不敏感广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。
1、真空泵的极限压强
泵的极限压强单位是Pa，是指泵在入口处装有标准试验罩并按规定条件工作，在不引入气体正常工作的情况下，趋向稳定的最低压强。
2、真空泵的抽气速率
泵的抽气速率单位是m3/s或l/s，是指泵装有标准试验罩，并按规定条件工作时，从试验罩流过的气体流量与在试验罩指定位置测得的平衡压强之比。简称泵的抽速。
3、真空泵的抽气量
真空泵的抽气量单位是Pam3/s或Pal/s。是指泵入口的气体流量。
4、真空泵的起动压强
真空泵的起动压强单位为Pa，它是指泵无损坏起动并有抽气作用时的压强。
5、泵的前级压强
真空泵的前级压强单位是Pa，它是指排气压强低于一个大气压的真空泵的出口压强。
6、真空泵的最大前级压强
真空泵口最大前级压强单位是Pa，它是指超过了能使泵损坏的前级压强。
7、真空泵的最大工作压强
真空泵的最大工作压强单位是Pa，它是指对应最大抽气量的入口压强。在此压强下，泵能连续工作而不恶化或损坏。
8、压缩比
压缩比是指泵对给定气体的出口压强与入口压强之比。
9、何氏系数
泵抽气通道面积上的实际抽速与该处按分子泻流计算的理论抽速之比。
10、抽速系数
泵的实际抽速与泵入口处按分子泻流计算的理论抽速之比。
11、返流率
泵的返流率单位是g/c㎡.s。它是指泵按规定条件工作时，通过泵入口单位面积的泵流质量流率。
12、水蒸气允许量
水蒸气的允许量单位是kg/h，它是指泵在正常环境条件下，气镇泵在连续工作时能抽除的水蒸气质量流量。
13、最大允许水蒸气入口压强
最大允许水蒸气入口压强单位是Pa。它是指在正常环境条件下，气镇泵在连续工作时所能抽除的水蒸气的最高入口压强。
所谓真空，是指在给定的空间内，压力低于101325Pa的气体状态。在真空状态下，气体的稀薄程度通常用气体的压力值来表示，显然，该压力值越小则表示气体越稀薄。
工业上有各种各样的真空泵，对于各种泵的性能都有规定的测试方法来检验，主要参数有：
1、极限真空（通常称为真空度）：将真空泵与检测容器相连，放入待测的气体后，进行长时间连续抽气，当容器内的气体压力不再下降而维持某一定值时，此压力称为泵的极限真空。该值越小则表明越接近理论真空。
2、抽气速率：在真空泵的吸气口处，单位时间内流过的气体体积。
传统工业用真空泵体积普遍很大，而且泵的工作需要特殊的真空泵油和润滑机油，介质气体内会含有大量油雾。
随着仪器仪表工业的发展以及人们对环保的要求，各国的微型无油真空泵应运而生，普遍有以下规律：
泵的价格和真空度指标密切相关。真空度指标是各国生产商努力追求的主要指标，它反应了相应的机械加工、密封技术、材料科学等领域的整体实力，也是生产商获取利润的重要手段。要提高真空度指标，就必须有更高的密封条件，因此就需要采用尺寸更精确、材料性能更优异的零部件，于是生产成本就大幅度提高了。而且价格的增幅远远大于真空度指标的增幅。当然，抽气速率的提高也会引起价格的攀升，但其增幅不大。因此，选择微型真空泵时需要认真制定真空度指标，其次是抽气速率，这样才能最好地兼顾使用性能和成本。
高真空度的微型泵由于采用了非常精密的密封零件，因此它对工作环境的清洁条件、温度参数、介质成分等均有更高的要求。
振动和噪音。泵的抽气速率和真空度越高，振动和噪音也越大。
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